低溫(LT)和中溫(MT)蒸發(fā)源采用Ta絲輻射加熱，最大工作溫度分別可達(dá)1100℃和1500℃。
| ● 低溫蒸發(fā)源最大工作溫可達(dá)1100℃ | ● 中溫蒸發(fā)源最大工作溫可達(dá)1500℃ | ● 程序控溫，溫度波動(dòng)最小≤0.1% |
| ● 保溫效果好，功率較低 | ● 內(nèi)置水冷和擋板 | ● 可選熱口和冷口型的加熱絲 |
| ● 真空內(nèi)長度可定制，交貨周期短 |
| 中低溫蒸發(fā)源 | 模塊描述 | 配置參數(shù) | |||
| 型號(hào) | E38LT | E38MT | E63LT | E63MT | |
| 尺寸 | 安裝法蘭 | DN38CF | DN63CF | ||
| 真空內(nèi)長度 | 294mm | 328mm | |||
| 真空內(nèi)外徑 | 35mm | 62mm | |||
| 工作距離 | 200-300mm | ||||
| 坩堝 | 坩堝容量 | 10cc | 25cc | ||
| 坩堝材質(zhì) | Al2O3, PBN, PG, W, Ta, Mo | Al2O3, PBN | |||
| 溫度 | 熱偶類型 | K型 | C型 | K型 | C型 |
| 工作溫度 | 100-1100℃ | 300-1500℃ | 300-1100℃ | 300-1500℃ | |
| 溫度穩(wěn)定性 | ≤0.1%，取決于PID溫控器 | ||||
| 最高除氣溫度 | 1200℃ | 1600℃ | 1200℃ | 1600℃ | |
| 最高烘烤溫度 | 250℃ | ||||
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