核心技術
core technology
您當前位置：首頁 > 真空技術 超高真空（Ultra High Vacuum，UHV）是指壓力低于1×10-8mbar的真空狀態(tài)。在這種環(huán)境下，氣體分子的數量非常稀少，平均自由程約數十公里，處于分子流狀態(tài)，幾乎所有分子相互作用都發(fā)生在腔體的各個表面上。典型的固體表面原子密度約為1015cm-2，假設碰撞到表面上的分子完全被吸附，在10-6mbar的真空壓力下形成分子單層僅需幾秒，而在10-10mbar或10-11mbar真空下時，形成單分子層的時間則達幾小時到幾十小時，因此，潔凈的材料表面都必須在超高真空環(huán)境下獲得和保持。
UHV技術的應用廣泛覆蓋多個領域，包括材料科學、表面科學、半導體工業(yè)和光學研究等。在超高真空的環(huán)境中，研究者能夠更加準確地深入研究材料的特性、探索表面化學反應和微觀結構，同時應用于制造高性能電子器件等前沿領域。
超高真空技術主要涉及超高真空的獲取、測量和維持，以及UHV條件下的運動。費勉儀器已成功掌握超高真空狀態(tài)下涉及的一系列精密而復雜的技術，包括高效的真空泵系統(tǒng)、特殊材料的選擇和處理、精密的真空腔室設計，以及準確的真空測量和控制系統(tǒng)。這些技術的綜合運用使得超高真空環(huán)境不僅能夠提供極低的氣體分子干擾，同時能夠穩(wěn)定地維持這種高度真空狀態(tài)。我們成功自主開發(fā)了多項真空系統(tǒng)的核心組件，獲得真空領域授權專利28個。
我們自產的真空部件，不僅能滿足用戶在超高真空環(huán)境中的多維線性和旋轉運動，并且可以實現真空系統(tǒng)中穩(wěn)定精準傳樣。
真空部件均采用超高真空兼容材料，能夠在10-11mbar至1bar的工作氣壓范圍內穩(wěn)定運行。
超高真空直線互聯(lián)系統(tǒng)，可集成材料制備、材料處理、材料表征和量測類等多種功能性設備，實現材料全生命周期的綜合物性研究。
直線互聯(lián)系統(tǒng)采用模塊化設計，拓展性強，極限真空可達10-11mbar量級。
圓形傳樣互聯(lián)系統(tǒng)基于多通道圓形傳樣系統(tǒng)的模塊化設計，結構緊湊，運行高效。它既適用于小型實驗室級別的互聯(lián)搭建，也可以實現大型設備平臺的構建。
圓形傳樣互聯(lián)系統(tǒng)極限真空可達10-11mbar量級，同時采用固體潤滑薄膜技術，可靠耐用。
EN
021-6525 3206