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產(chǎn)品概述：

直線互聯(lián)系統(tǒng)與圓型傳樣系統(tǒng)互為補充，均可實現(xiàn)樣品在超高真空的環(huán)境下在不同系統(tǒng)間的傳遞，但是側重點略有不同。圓形傳樣系統(tǒng)相對較為緊湊，適合于小型實驗室級別的互聯(lián)搭建；直線互聯(lián)系統(tǒng)單次傳遞的樣品尺寸和數(shù)量更多，適合于較大型的互聯(lián)搭建。同時圓形傳樣系統(tǒng)和直線傳樣系統(tǒng)也能實現(xiàn)互相搭配，例如圓形搭配直線，圓形搭配圓形，或者直線再擴展。費勉儀器已經(jīng)有豐富的設計和搭建經(jīng)驗和案例供用戶參考。

產(chǎn)品概述：

真空控制及保護系統(tǒng)，集成真空規(guī)信號、分子泵控制、蒸發(fā)源保護、烘烤保護等功能。包含蒸發(fā)源、樣品架的溫度控制軟件，包含擋板控制軟件，熱風式烘烤模塊，烘烤溫度均勻，拆裝方便。

產(chǎn)品概述：

FERMI-RFPS-200是費勉儀器公司最新生產(chǎn)的一種高效射頻等離子體源，通過線圈式結構，能在真空腔體內激發(fā)產(chǎn)生等離子體，激勵氣體種類包括但不限于H₂、N₂、O₂、稀有氣體等，具有更好的穩(wěn)定性以及更精確的操控性，廣泛應用于分子束外延系統(tǒng)（MBE）中氮化物生長、氮原子注入和摻雜、氧化物生長、氧原子的注入和摻雜、氫化物生長以及氫原子表面清洗等。

產(chǎn)品概述：

費勉儀器提供的6軸閉循環(huán)低溫樣品架可以實現(xiàn)樣品位置以及姿態(tài)的精確控制，它主要由低溫樣品桿、溫度控制系統(tǒng)、XYZ-R1位移臺、馬達控制系統(tǒng)四部分組成。整個樣品架及位移臺均使用無磁材料，可以在超高真空下使用。樣品臺可以在X、Y、Z方向大范圍移動，并可實現(xiàn)繞三個軸的旋轉運動（旋轉角R1、俯仰角R2、面內旋轉角R3）。

產(chǎn)品概述：

桌面減震型低溫光學恒溫器，采用GM制冷機做冷源，無液氦消耗。多級隔振設計使樣品臺震動小于200nm。樣品臺最低溫度達3.6K。