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展會資訊
2025.04.30三展來襲 | 表界面科學(xué)會議&物理春季學(xué)術(shù)會&紅外技術(shù)大會
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Compound interface treatment and passivation technology
化合物界面處理和鈍化技術(shù)
基于MBE原子級修飾能力的新型鈍化技術(shù)
兼容原子氫界面清洗&真空解理鍍膜
優(yōu)異的單晶外延鈍化層質(zhì)量
Closed loop low-temperature sample holder 6-axis
閉循環(huán)低溫樣品架6軸
最高可達(dá)6自由度
RT至6K，<4小時
使用GM機(jī)制冷機(jī)制冷，運行成本低
HOT產(chǎn)品概述：
直線互聯(lián)系統(tǒng)與圓型傳樣系統(tǒng)互為補(bǔ)充，均可實現(xiàn)樣品在超高真空的環(huán)境下在不同系統(tǒng)間的傳遞，但是側(cè)重點略有不同。圓形傳樣系統(tǒng)相對較為緊湊，適合于小型實驗室級別的互聯(lián)搭建；直線互聯(lián)系統(tǒng)單次傳遞的樣品尺寸和數(shù)量更多，適合于較大型的互聯(lián)搭建。同時圓形傳樣系統(tǒng)和直線傳樣系統(tǒng)也能實現(xiàn)互相搭配，例如圓形搭配直線，圓形搭配圓形，或者直線再擴(kuò)展。費勉儀器已經(jīng)有豐富的設(shè)計和搭建經(jīng)驗和案例供用戶參考。
HOT產(chǎn)品概述：
真空控制及保護(hù)系統(tǒng)，集成真空規(guī)信號、分子泵控制、蒸發(fā)源保護(hù)、烘烤保護(hù)等功能。包含蒸發(fā)源、樣品架的溫度控制軟件，包含擋板控制軟件，熱風(fēng)式烘烤模塊，烘烤溫度均勻，拆裝方便。
HOT產(chǎn)品概述：
FERMI-RFPS-200是費勉儀器公司最新生產(chǎn)的一種高效射頻等離子體源，通過線圈式結(jié)構(gòu)，能在真空腔體內(nèi)激發(fā)產(chǎn)生等離子體，激勵氣體種類包括但不限于H2、N2、O2、稀有氣體等，具有更好的穩(wěn)定性以及更精確的操控性，廣泛應(yīng)用于分子束外延系統(tǒng)（MBE）中氮化物生長、氮原子注入和摻雜、氧化物生長、氧原子的注入和摻雜、氫化物生長以及氫原子表面清洗等。
HOT產(chǎn)品概述：
費勉儀器提供的6軸閉循環(huán)低溫樣品架可以實現(xiàn)樣品位置以及姿態(tài)的精確控制，它主要由低溫樣品桿、溫度控制系統(tǒng)、XYZ-R1位移臺、馬達(dá)控制系統(tǒng)四部分組成。整個樣品架及位移臺均使用無磁材料，可以在超高真空下使用。樣品臺可以在X、Y、Z方向大范圍移動，并可實現(xiàn)繞三個軸的旋轉(zhuǎn)運動（旋轉(zhuǎn)角R1、俯仰角R2、面內(nèi)旋轉(zhuǎn)角R3）。
HOT產(chǎn)品概述：
桌面減震型低溫光學(xué)恒溫器，采用GM制冷機(jī)做冷源，無液氦消耗。多級隔振設(shè)計使樣品臺震動小于200nm。樣品臺最低溫度達(dá)3.6K。
公司致力于利用底層的科學(xué)原理，為全球?qū)W術(shù)及研究機(jī)構(gòu)、工業(yè)客戶等，提供新技術(shù)、新工藝及新材料等領(lǐng)域的整體解決方案。
在10余年的發(fā)展道路上，費勉儀器始終堅持"自主研發(fā)+技術(shù)創(chuàng)新"，在超高真空、低溫、薄膜制備及等離子四個技術(shù)領(lǐng)域，都有豐富的技術(shù)積累和成熟產(chǎn)品線，代表性產(chǎn)品已在國內(nèi)外眾多知名高校、研究機(jī)構(gòu)及工業(yè)客戶中，得到了廣泛應(yīng)用和認(rèn)可。
費勉儀器擁有健全、穩(wěn)定的技術(shù)團(tuán)隊和管理團(tuán)隊，在學(xué)術(shù)界及工業(yè)領(lǐng)域都有深入而廣泛的合作。公司已獲得上海市高新技術(shù)企業(yè)、上海市專精特新企業(yè)、上海市科技小巨人培育企業(yè)等多項榮譽(yù)。
2012年
公司成立于
30%
研發(fā)人員占比
20000+m2
場地規(guī)模(獨立的生產(chǎn)及辦公空間)
215項
專利與認(rèn)證持續(xù)更新中
