MBE-2000 分子束外延系統(tǒng)

批量生產(chǎn)型MBE系統(tǒng)，經(jīng)濟(jì)高效產(chǎn)量高

最大外延9×4inch，4×6inch，15×3inch和32×2inch襯底；MBE日常工作全自動(dòng)化：樣品傳送，束流標(biāo)定，外延生長(zhǎng)等；可實(shí)現(xiàn)24/7批量化生產(chǎn)模式。

配備原位監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)控生長(zhǎng)狀態(tài)

反射式高能電子衍射儀(RHEED)，束流規(guī)(BFM)，殘余氣體分析(RGA)，預(yù)留更多原位監(jiān)測(cè)設(shè)備安裝口，保留升級(jí)拓展能力。

系統(tǒng)占地空間小，容許雙生長(zhǎng)腔模塊

模塊化腔室結(jié)構(gòu)系統(tǒng)占地空間小于同類(lèi)型MBE系統(tǒng)，可支持兩個(gè)生長(zhǎng)腔模塊，極大提高產(chǎn)量并允許不兼容的材料體系生長(zhǎng)。

系統(tǒng)操作簡(jiǎn)單，平均運(yùn)行周期長(zhǎng)

系統(tǒng)操作便捷，界面簡(jiǎn)潔友好，自帶安全互鎖報(bào)警及防誤觸功能，模塊化多腔室構(gòu)型為各個(gè)腔室配備獨(dú)立的泵組及閘板閥，維護(hù)輕松方便，最大程度地保證系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)長(zhǎng)。

+86-25-5888 3672

規(guī)格說(shuō)明

配置	MBE-2000 分子束外延系統(tǒng)
生長(zhǎng)室	腔體尺寸	1300mm I.D.
	液氮冷屏	標(biāo)配
	襯底加熱器最高溫度	1000℃
	襯底加熱器溫度穩(wěn)定性	±0.2℃
	襯底最大尺寸	9x4inch，4x6inch
	襯底最大旋轉(zhuǎn)速度	40RPM
	蒸發(fā)源配置	CF200x12
	獨(dú)立的蒸發(fā)源擋板	電機(jī)驅(qū)動(dòng)
	烘烤溫度	200℃
	RHEED	15~30KV
	RGA	0-200amu
預(yù)處理	預(yù)處理加熱器最高溫度	800℃
進(jìn)樣室	樣品停放臺(tái)	10個(gè)
進(jìn)樣室	紅外烘烤燈	選配
MBE軟件	GUIDE軟件	標(biāo)配
選配	出樣室	選配
	CCD相機(jī)	選配
	全自動(dòng)手套箱	選配
	污染物回收系統(tǒng)	選配
	二級(jí)磷回收系統(tǒng)	選配
	泵車(chē)	選配
	真空照明系統(tǒng)	選配
	襯底真實(shí)溫度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)BTM-100	選配
	原子吸收光譜束流監(jiān)控系統(tǒng)AAFM-3	選配

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