费勉仪器科技（上海）有限公司
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费勉100问第十一期
费勉100问第十期
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气缸驱动解理台
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二维材料原位剥离堆垛装置CLST-1
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如何获得低温
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Fe,费勉仪器,薄膜制备
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费勉仪器推出无液氦1K制冷机
费勉仪器Demo系统一期正式交付
费勉仪器新一代复杂超高真空系统用远程等离子清洗源技术
费勉仪器（Fermi Instruments）和Scienta Omicron就ARPES低温样品架以及APXPS系统开发达成了合作协议
展会预告 | 2019谱学纳米显微研讨会在沪举行
费勉仪器获评上海市宝山区“小巨人”企业
宝山区区委常委高飞一行莅临我司慰问拔尖人才
宝山区区长陈杰一行莅临调研费勉仪器复工复产情况
ARPES系统升级改造
案例新闻 | Nature Materials-铁磁钙钛矿薄膜中由二维对称保护节点结构引起的符号可调反常霍尔效应
喜报 | 费勉仪器荣获2019年度上海市“专精特新”企业称号！
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复旦大学原位闭循环低温输运系统交付使用暨赠送张远波教授纪念奖杯
前瞻 | 8.15-8.16费勉仪器亮相第十三届分子束外延会议
费勉仪器与您相聚第五届凝聚态物理会议 共话物理前沿
泰国苏兰拉里理工大学访问费勉仪器取得圆满成功。
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ARPES真空紫外光源与闭循环低温样品架交付康奈尔大学
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展会预告 l 费勉仪器等离子除菌产品亮相上海国际医用消毒及感控设备展览会
中科院苏州纳米所超高真空PECVD系统交付使用
上海科技大学超高真空TPD系统交付使用
Nature Materials-铁磁钙钛矿薄膜中由二维对称保护节点结构引起的符号可调反常霍尔效应
直线伸缩驱动
线性驱动（直线馈通）
背板式线性驱动
重载直线伸缩驱动
二维平移台（XY）
紧凑型三维平移台（XYZ）
中型三维平移台(XYZ)
全尺寸三维平移台（XYZ）
高精度全尺寸三维平移台（XYZ）
磁耦合旋转驱动（磁联轴器/旋转馈通）
波纹管旋转驱动
中空磁耦合旋转驱动
差分旋转驱动
紧凑型差分旋转驱动
高精度差分旋转驱动
磁耦合传样杆（磁力杆）
升降式磁耦合传样杆（磁力杆）
超高真空机械手
样品抓取头
样品停放台
超高真空解理镀膜系统
MBE-800 分子束外延系统
MBE-1000 cluster 分子束外延系统
MBE-2000 分子束外延系统
MBE-800P 分子束外延系统
远程低温等离子处理机
集成多滤波片快速切换装置
闭循环低温样品架-5.5轴
闭循环低温样品架-5F轴
JT样品架-5F轴
标准样品托
开循环低温样品架-6轴
暗电流样品杆
湿式显微型OP-2000
湿式光谱型OP-1000
湿式迷你型OP-100
湿式中型OP-200
连续流OP-4000
连续流OP-4001
TPD 变温分析样品架
简易退火台
二维材料精确转移装置
双旋转轴低温样品杆
多功能样品托
Tip-post
12电极样品台
双转轴样品台
四探针样品台
红外测温仪
制冷杆
液氦输液杆
快速变温台
低温原位解理系统
手套箱与PPMS互联装置
原位输运测量系统 TEMA-200
高温高压反应池-低温红外光谱 质谱联用系统
漫反射红外反应池
原位红外光谱-差分质谱联用系统
FTIR原位反应池
氦气减震型 Cryo-200
高压激光热处理系统
减震型自循环氦液化系统
离子阱恒温器Cryo-402
桌面减震型 Cryo-300
手套箱专用低温恒温器
单光子探测低温恒温器 Cryo-500
3英寸专用高温样品架
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射频等离子体源
超纯碱金属源
氢/氧热裂解源
简易金源
简易碱金属蒸发源
双温区蒸发源
MBE高低温样品架-4轴
PLD 300
Sputtering 100
MBE高温样品架-4轴
MBE高温样品架-5轴
HMF-MBE-200 强磁场MBE系统
2轴高通量MASK样品架
MBE-300 分子束外延系统
Cubic-200 分子束外延系统
高温高压原位反应池 HPGC-300
紧凑型低温红外反应池
光纤耦合激光器系统
电子束源控制器
高精度伺服控制器
加热带及温控电源
大功率数控直流电源DCPS系列
12路气动挡板控制器
RHEED Guns
远程等离子源
真空传递仓
光纤导入器
光催化反应池
激光加热高压反应池
电化学反应池
手套箱与XPS互联
程序升温脱附系统（TPD）
化学气相沉积系统（CVD）
定制化ALD样品台
展会预告丨第12届半导体设备与核心部件展示会
展会预告丨中国物理学会2024秋季学术会议
展会预告丨第一届HAXPES硬X射线光电子能谱研讨会
展会预告丨The Workshop on Novel Physical Properties of Complex Oxides (A3 2024)
直线互联系统
光纤耦合激光器系统
UHV存储型液氦低温恒温器
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MBE-400 分子束外延系统
MBE-500 分子束外延系统
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DT 系列蒸发源
HL 系列蒸发源
CL 系列蒸发源
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VCC系列腐蚀性裂解源
VPC系列阀式裂解源
HT 系列高温源
LT 系列低温源
RFPS射频等离子体源
CBr4源
AH系列热裂解源
蒸发源快门
SH-Ta系列加热器
SH-PG系列加热器
真空放气螺丝
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板状螺帽
无氧铜垫圈
可重复用铜垫圈
CF法兰
可调节法兰
快速进样门
超高真空视窗
可替换高真空视窗
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高束流射频等离子体源
高效固态射频等离子体源
远程等离子体活性自由基源
远程等离子源
大面积等离子体源
桌面式远程低温等离子体清洗机
立式远程低温等离子体清洗机
角分辨光电子能谱系统（ARPES）
UHV-SPM系统
原位输运测量系统 TEMA-100
超高真空手提箱
三温区裂解源
桌面式无液氦低震动强磁场低温光学研究平台-Cryo200P
样品翻转传样杆（DMTA35）
减震波纹管（PBA）
Z-R磁耦合驱动
低温真空手提箱-斯特林制冷机
光电磁耦合测量系统 PEMMS-100
温度监视器&温控器